المواد المستهدفة التيتانيوم

1. نظرة عامة
تشير المادة المستهدفة إلى المادة التي قصفتها جزيئات عالية الطاقة أثناء عمليات مثل ترسيب الثرثرة. يمكن تصنيف الأهداف إلى أنواع معدنية أو سبائك أو أكسيد. من خلال تغيير المادة المستهدفة (على سبيل المثال ، يمكن إنتاج الألومنيوم والنحاس أو الفولاذ المقاوم للصدأ أو التيتانيوم أو النيكل) أو أنظمة أفلام رقيقة مختلفة ، مثل الطلاءات المتشددة أو المقاومة للارتداء أو المقاومة للتآكل.

(1) أهداف معدنية:
النيكل (NI) ، التيتانيوم (TI) ، الزنك (Zn) ، الكروم (CR) ، المغنيسيوم (Mg) ، النيوبيوم (NB) ، القصدير (SN) ، الألومنيوم (AL) ، الإنديوم (في) ، الحديد (FE) ، الزركونيوم-ألومينوم (zral) ، التيتانيوم-ألومينيوم (tial) ، aluminium ، aluminium ، (alsi) ، السيليكون (SI) ، النحاس (Cu) ، tantalum (TA) ، الجرمانيوم (GE) ، الفضة (AG) ، الكوبالت (CO) ، الذهب (AU) ، Gadolinium (GD) ، Lanthanum (la) ، yttrium (y) ، cerium (ce) ، tungsten (w) Molybdenum (MO) ، Iron-Nickel (Feni) ، إلخ.

(2) أهداف السيراميك:
إيتو ، أكسيد المغنيسيوم ، أكسيد الحديد ، نيتريد السيليكون ، كربيد السيليكون ، نيتريد التيتانيوم ، أكسيد الكروم ، أكسيد الزنك ، كبريتيد الزنك ، ثاني أكسيد السيليكون ، أول أكسيد السيليكون ، ديوكسيد السيليكون ، تيتانيوم ، تيتانيوم ، تيتانيوم ديوكسيد. Diboride ، Tungsten Trioxide ، Alumina (al₂o₃) ، tantalum pentoxide ، niobium pentoxide ، fluoride magnesium ، yttrium fluoride ، zinc selenide ، nitride nitride ، praseodymium titanate ، lanthanate titanate ، and nickel.

2. متطلبات الأداء الرئيسية للأهداف

(1) نقاء
النقاء هو واحد من أهم مؤشرات الأداء ، حيث أنها تؤثر بشكل مباشر على خصائص الأفلام الرقيقة. على سبيل المثال ، في الأجهزة الكهربائية الدقيقة ، نمت أحجام الرقاقة من 6 "و 8" إلى 12 "، في حين تقلصت خطوط الخطوط من {3}}. 5 µm إلى 0}. تتطلب الآن نقاء 99.999 ٪ أو حتى 99.9999 ٪.

(2) محتوى الشوائب
الشوائب الصلبة والغازات الممتصة مثل الأكسجين والماء هي مصادر أولية للتلوث في الأفلام الرقيقة. الصناعات المحددة ، مثل أشباه الموصلات ، لها متطلبات صارمة على المعادن القلوية والعناصر المشعة في الألومنيوم وسبائكه.

(3) كثافة
تساعد الكثافة العالية على تقليل المسامية في الهدف ، وبالتالي تحسين أداء الأفلام المتطفلة. لا تؤثر الكثافة على معدل الضعف فحسب ، بل تؤثر أيضًا على الخصائص الكهربائية والبصرية للأفلام. أهداف الكثافة أيضا أفضل صمود الضغوط الحرارية أثناء الضعف.

(4) حجم الحبوب والتوزيع
الأهداف عادة ما يكون لها هياكل متعددة الكريستالات. تميل الحبوب الدقيقة إلى تحسين معدلات الضعف ، في حين أن توزيع حجم الحبوب الموحد يضمن حتى سمك الفيلم أثناء الترسب.

3. الدرجات المادية
Ta {0} ، Ta1 ، Ta2 ، Ta9 ، Ta10 ، Zr2 ، zr0 ، gr5 ، gr2 ، gr1 ، tc11 ، tc6 ، tc4 ، tc3 ، tc2 ، tc1.

4. التطبيقات
تستخدم المواد المستهدفة على نطاق واسع للطلاء الزخرفي والأفلام المقاومة للارتداء وفي صناعة الإلكترونيات للقرص المضغوط و VCD والقرص المغناطيسي.

أفلام Tungsten-titanium (W-Ti)
W-Ti وسبائكها هي طلاء وظيفية عالية الحرارة مع مزايا لا يمكن الاستغناء عنها. يوفر Tungsten نقطة انصهار عالية وقوة ومعامل تمدد حراري منخفض. تتميز أفلام W-TI بمقاومة كهربائية منخفضة ، واستقرار حراري ممتاز ، ومقاومة أكسدة قوية.

يتم أكسدة المعادن البينية التقليدية مثل AL و Cu و Ag بسهولة ، وستعمل بشكل جيد مع الطبقات العازلة ، ومعرضة الانتشار في ركائز مثل Si و Sio₂. هذه السلوكيات تحلل أداء الجهاز. في المقابل ، تعمل سبائك W-Ti كحواجز انتشار ممتازة بسبب خصائصها الميكانيكية الحرارية المستقرة ، وانخفاض معدل الهجرة الكهربائية ، والتآكل المتفوق وصنع المقاومة الكيميائية مثالية للبيئات عالية الدقة ودرجات الحرارة العالية.

5. توقعات التنمية
ظهرت أهداف W-TI مؤخرًا كمواد طلاء حرجة للخلايا الكهروضوئية ، خاصةً كحواجز الانتشار في الخلايا الشمسية من الجيل الثالث. بفضل ممتلكاتهم الاستثنائية ، ارتفع الطلب على أهداف W-TI في السنوات الأخيرة. في عام 2008 ، وصل الطلب العالمي إلى 400 طن. مع نمو صناعة الطاقة الشمسية ، من المتوقع أن يرتفع هذا الرقم بشكل كبير.

يتوسع سوق الخلايا الشمسية الدولية بسرعة ، مع نمو سنوي بنسبة 100 ٪. العديد من الشركات التي تسببت في ألمانيا في WverthSurlfulcell ، وهي الطاقة الشمسية العالمية للولايات المتحدة الأمريكية ، وهوندا شوا شل ، و Hitachi Metals-تستثمر بنشاط في هذا القطاع.

قامت الصين بتطوير أهداف W-TI عالية الكثافة وعالية الكثافة ، وهي فئة جديدة من مواد الطلاء في أيون. وتستخدم على نطاق واسع كطبقات حاجز أو صقل الألوان في شاشات العرض ، والطبقات الزخرفية في أجهزة الكمبيوتر المحمولة ، وتغليف البطارية ، وحواجز انتشار الخلايا الكهروضوئية. إمكاناتها التجارية والاقتصادية كبيرة. بالإضافة إلى ذلك ، يمكن أن يؤدي إنتاجهم إلى ترقيات في صناعة التنغستن في الصين ، وزيادة قيمة المنتج والقدرة التنافسية العالمية.